二、四大核心產(chǎn)線適配優(yōu)勢

1. 全磁懸浮無油潔凈結(jié)構(gòu)，匹配半導(dǎo)體嚴(yán)苛制程

采用研發(fā)五軸電磁懸浮軸承，轉(zhuǎn)子無摩擦、無潤滑油脂揮發(fā)，腔體碳?xì)湮廴沮吔诹?，滿足 300mm 晶圓、光學(xué)鍍膜 SEMI S2 潔凈標(biāo)準(zhǔn)；軸承無物理磨損，連續(xù) 7×24h 量產(chǎn)設(shè)計(jì)壽命 20 萬小時(shí)，大幅減少停機(jī)維護(hù)頻次，可耐受微量刻蝕工藝腐蝕性氣體。

2. 機(jī)身一體化驅(qū)動(dòng)，簡化設(shè)備集成布局

摒棄傳統(tǒng)分體控制柜設(shè)計(jì)，驅(qū)動(dòng)、通訊、電源模塊全部內(nèi)置泵體側(cè)面，省去控制柜機(jī)架、長連接線纜，設(shè)備集成布線工時(shí)降低 60%；整機(jī)防護(hù)等級(jí) IP54，車間粉塵、輕微水汽環(huán)境穩(wěn)定運(yùn)行，適配緊湊型真空機(jī)組、大型鍍膜設(shè)備內(nèi)部狹小安裝空間。

3. 3800L/s 大抽速，大幅縮短產(chǎn)線真空節(jié)拍

多級(jí)復(fù)合渦輪優(yōu)化流體結(jié)構(gòu)，氮?dú)獬樗?3800L/s，氫氣抽速 2900L/s，搭配 ISO200-F 大口徑進(jìn)氣法蘭，大型腔體可快速從常壓降至工藝高真空區(qū)間；轉(zhuǎn)子抗大氣沖擊能力強(qiáng)，意外進(jìn)氣不易損壞葉片，支持頻繁啟停、批量連續(xù)生產(chǎn)。

4. 工業(yè)智能通訊，適配自動(dòng)化產(chǎn)線閉環(huán)控制

標(biāo)配 EtherCAT、RS232C、多路 DI/DO 工業(yè)通訊接口，可直接對接半導(dǎo)體上位機(jī)；內(nèi)置轉(zhuǎn)速、溫度、振動(dòng)多維度傳感器，實(shí)時(shí)上傳運(yùn)行數(shù)據(jù)，提前預(yù)警軸承異常、過熱過載故障，降低非計(jì)劃停機(jī)損失；支持水平、垂直、倒立任意角度安裝，適配復(fù)雜設(shè)備管路布局。

三、標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)參數(shù)

表格

四、主流應(yīng)用行業(yè)場景

1. 半導(dǎo)體量產(chǎn)產(chǎn)線：300mm 晶圓大型 PVD 薄膜沉積、刻蝕設(shè)備、整片晶圓檢測腔體主抽高真空泵，適配量產(chǎn)潔凈制程；

2. 光伏 / 平板光學(xué)產(chǎn)線：大尺寸光伏基板、車載光學(xué)鏡片、玻璃基板連續(xù)濺射鍍膜設(shè)備；

3. 高端科研真空設(shè)備：大型透射電鏡 TEM、同步輻射真空腔體、表面能譜分析儀器；

4. 工業(yè)高端真空裝備：大型真空熱處理爐、大容量真空檢漏艙、高精度真空吸附系統(tǒng)