二、核心亮點(diǎn)：產(chǎn)線集成四大省心優(yōu)勢(shì)

1. 全磁懸浮潔凈結(jié)構(gòu)，杜絕工藝污染

轉(zhuǎn)子依靠電磁力懸浮運(yùn)轉(zhuǎn)，不存在滾珠軸承摩擦、潤(rùn)滑油脂揮發(fā)問(wèn)題，腔體內(nèi)部碳?xì)湮廴疚镖吔诹?；耐受微量腐蝕性工藝氣體，適配晶圓鍍膜、光學(xué)鏡片等高潔凈制程，連續(xù) 7×24 小時(shí)量產(chǎn)無(wú)油品污染風(fēng)險(xiǎn)，設(shè)計(jì)使用壽命 20 萬(wàn)小時(shí)。

2. 機(jī)身一體驅(qū)動(dòng)，大幅縮減設(shè)備占地

摒棄傳統(tǒng)分體式控制柜，驅(qū)動(dòng)單元與泵體合二為一，省去復(fù)雜連接線纜與機(jī)架安裝空間；整機(jī)防護(hù)等級(jí) IP54，車間粉塵、水汽環(huán)境穩(wěn)定運(yùn)行，設(shè)備集成布線工時(shí)降低 60%，適配緊湊型真空機(jī)組設(shè)計(jì)。

3. 大抽氣效率，縮短產(chǎn)線節(jié)拍

多級(jí)復(fù)合渦輪轉(zhuǎn)子優(yōu)化流體結(jié)構(gòu)，氮?dú)獬樗?3400L/s，氫氣抽速 2700L/s，搭配 ISO200-F 大口徑進(jìn)氣法蘭，大型腔體可快速降至工藝高真空區(qū)間；啟動(dòng)、停機(jī)速度更快，搭配自動(dòng)破真空功能，腔體維護(hù)啟停耗時(shí)顯著縮短，耐大氣沖擊能力強(qiáng)，意外進(jìn)氣不易損壞轉(zhuǎn)子。

4. 智能工業(yè)通訊，適配自動(dòng)化產(chǎn)線

標(biāo)配 EtherCAT、RS232C、DI-DO 多路工業(yè)通訊接口，可對(duì)接半導(dǎo)體設(shè)備上位機(jī)；內(nèi)置溫度、振動(dòng)、轉(zhuǎn)速多維度傳感器，實(shí)時(shí)上傳運(yùn)行數(shù)據(jù)、提前預(yù)警軸承異常、過(guò)熱過(guò)載故障，降低非計(jì)劃停機(jī)概率；支持任意角度安裝（水平 / 垂直 / 倒立），適配復(fù)雜設(shè)備管路布局。

三、核心技術(shù)參數(shù)簡(jiǎn)表

表格

四、適配行業(yè)與設(shè)備場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體量產(chǎn)產(chǎn)線：300mm 晶圓 PVD 沉積、刻蝕設(shè)備、整片晶圓檢測(cè)腔體主抽高真空泵，匹配 SEMI-S2 工業(yè)安全標(biāo)準(zhǔn)；

2. 平板 / 光伏光學(xué)產(chǎn)線：大尺寸玻璃基板、車載鏡頭、光伏鍍膜連續(xù)濺射設(shè)備；

3. 高端科研儀器：大型 TEM 透射電鏡、同步輻射真空腔體、表面能譜分析設(shè)備；

4. 工業(yè)高端真空裝備：大型真空熱處理爐、大容積真空檢漏艙、高精度真空吸附系統(tǒng)