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DIC 迪愛生 DCV-715-6.35-0.02 微型 PFA 精密針型流量調(diào)節(jié)閥

發(fā)布時間:2026/06/18 18:58:03 發(fā)布廠商:玉崎半導體(深圳)有限公司 >> 進入該公司展臺

一、產(chǎn)品基礎(chǔ)概述

:DIC 迪愛生 SEPAREL DCV 系列高純氟樹脂精密調(diào)節(jié)閥型號:DCV-715-6.35-0.02

完整型號釋義

  1. DCV-715:DCV 系列一體式推入快插微型手動針型節(jié)流調(diào)節(jié)閥;

  2. 6.35:適配外徑 Φ6.35mm(1/4 英寸)標準 PFA/PTFE 高純軟管;

  3. 0.02:*小刻度調(diào)節(jié)量程,代表微量精細調(diào)節(jié)檔位,適配 ppb~mL/min 級微量藥液配比。

DCV-715-6.35-0.02 是專為半導體小型光刻供液、HPLC 液相色譜、微型噴墨、微量腐蝕試劑配比開發(fā)的一體式高純微調(diào)閥,兩端自帶 SD 系列推入自鎖快插插口,無需額外接頭直接串聯(lián) 6.35mm 氟軟管;一體成型 PFA 閥體 + 錐形 PFA 閥芯,全程無金屬接觸介質(zhì),搭配 D-ND-6 小型脫氣模組、DN-913-6.35 轉(zhuǎn)換接頭組成完整微型潔凈流體系統(tǒng),實現(xiàn)藥液微小流量無級線性調(diào)節(jié)。

二、結(jié)構(gòu)與流量調(diào)節(jié)原理

  1. 兩端推入自鎖快插結(jié)構(gòu)兩端均適配 Φ6.35mm PFA 軟管,雙層 PTFE 密封圈密封,徒手插拔免工具,直接串聯(lián)管路,省去 DN/SD 轉(zhuǎn)接件,簡化微型閥組布局。

  2. 錐形 PFA 精密節(jié)流閥芯頂部帶刻度手動調(diào)節(jié)旋鈕,旋鈕旋轉(zhuǎn)帶動錐形閥芯前后位移,改變閥芯與閥座流通截面積;0.02 *小分度精細微調(diào),微量區(qū)間線性度優(yōu)異,可穩(wěn)定控制 mL/min 級微小藥液流量,無流量跳變、無滯后。

  3. 平滑低死體積內(nèi)腔內(nèi)部無臺階、無滯留死角,流體通行無渦流積氣,搭配 D-ND-6 脫氣模組可消除管路微氣泡,避免鍍膜針孔、色譜基線噪聲。

三、六大核心產(chǎn)品優(yōu)勢

1. 一體式雙快插,省去轉(zhuǎn)接配件

兩端集成 6.35mm SD 標準快插插口,直接對接 D-SD-6.35-2 直通接頭、DN-913-6.35 螺紋轉(zhuǎn)換接頭,管路配件更少、死體積更低,設(shè)備狹小閥組集成*。

2. 0.02 微量精細刻度,微量配比*可控

旋鈕分度 0.02 微小檔位,針對微量顯影液、剝離稀釋液、色譜流動相、微量墨水*節(jié)流,解決普通閥門小開度流量波動大、調(diào)節(jié)粗糙痛點,批次工藝均勻性大幅提升。

3. 全 PFA 無析出接液材質(zhì),半導體高純標準

閥體、閥芯一體高純無填充 PFA,密封件 PTFE,全程不含金屬、橡膠助劑;輸送電子純水、稀酸堿光刻藥液、有機溶劑無金屬離子、塑化劑析出,杜絕晶圓薄膜缺陷。

4. 廣譜耐化學腐蝕,寬溫長期穩(wěn)定

耐受強酸、強堿、IPA、光刻膠、各類有機腐蝕試劑;工作溫度 0℃~200℃,冷熱交替管路閥芯無變形、密封無滲漏,常溫微量供液回路 24 小時連續(xù)運行穩(wěn)定。

5. 高壓真空雙工況長效密封

液體額定耐壓 0.7MPa;可適配 D-ND-6 脫氣模組 - 60~-90kPa 負壓真空管路,氦檢無滲漏,真空側(cè)不會進氣破壞脫氣除氧效果。

6. 微型緊湊機身,適配設(shè)備小型化集成

整機小巧輕量化,可并排嵌入桌面式光刻、小型清洗機、HPLC 儀器內(nèi)部狹小面板,*匹配 D-ND-6 小型脫氣模組成套微型流體方案。

四、標準規(guī)格參數(shù)

  1. 型號:DCV-715-6.35-0.02

  2. 連接結(jié)構(gòu):兩端雙 6.35mm 推入快插直通調(diào)節(jié)閥

  3. 適配軟管:Φ6.35mm PFA/PTFE 高純氟軟管

  4. *小調(diào)節(jié)刻度:0.02(微量精細調(diào)節(jié)款)

  5. 接液材質(zhì):一體成型高純 PFA 閥體 + 錐形 PFA 閥芯 + PTFE 雙層密封圈

  6. 額定液體耐壓:0.7MPa

  7. 真空適配:長期 - 60~-90kPa 負壓無泄漏

  8. 工作溫度區(qū)間:0℃ ~ 200℃

  9. 調(diào)節(jié)方式:頂部手動刻度旋鈕無級線性節(jié)流

  10. 原廠成套適配:D-ND-6 小型脫氣模組、DN-913-6.35 轉(zhuǎn)換接頭、D-SD-6.35-2 直通接頭、微型藥液過濾器

  11. 適配介質(zhì):電子級純水、顯影液、稀釋剝離液、清洗藥液、HPLC 流動相、微型噴墨墨水、稀酸堿有機溶劑

五、典型應用場景

  1. 半導體微型光刻供液系統(tǒng)桌面式小型光刻設(shè)備顯影微量輸送、小型晶圓清洗機旁路微量藥液調(diào)節(jié),串聯(lián) D-ND-6 脫氣模組組成無氣泡微量流體回路;

  2. 實驗室高效液相色譜 HPLC流動相微量流量精細調(diào)節(jié),穩(wěn)定色譜基線、降低檢測噪聲,適配微量分析、微量樣品配比;

  3. 微型工業(yè)噴墨設(shè)備PCB、柔性屏小型噴墨墨水循環(huán)管路微調(diào),穩(wěn)定墨水供給,杜絕噴嘴堵塞、噴印斷線白點;

  4. 微量精密化學設(shè)備微量腐蝕試劑配比、小型真空鍍膜微量藥液供給、環(huán)保微量采樣水路流量控制。

六、成套微型流體系統(tǒng)搭配方案

藥液儲罐 → 316L-EP 高純隔膜閥 → D-SD-6.35-2 直通接頭 → D-ND-6 脫氣模組 → DCV-715-6.35-0.02 微量調(diào)節(jié)閥 → 工藝腔體整套管路全氟潔凈配件 + 低壓損脫氣 + 微量線性節(jié)流,全程無氣泡、零離子析出,保障微量工藝穩(wěn)定性。

七、產(chǎn)品結(jié)

DIC 迪愛生 DCV-715-6.35-0.02 是 DCV 系列6.35mm 軟管一體式微量 PFA 針型調(diào)節(jié)閥,依托雙端快插免轉(zhuǎn)接、0.02 精細刻度微量調(diào)節(jié)、全 PFA 低析出、低死體積無氣泡、真空高壓雙密封五大核心優(yōu)勢,專門匹配 D-ND-6 小型脫氣模組組成半導體、色譜、噴墨微型供液系統(tǒng)。體積小巧易集成、耐強腐蝕、微量流量線性穩(wěn)定,是桌面式光刻、實驗室分析、微型噴墨等高潔凈微量流體管路標準化微調(diào)*閥門,可與 SD、ND 系列 6.35mm 接頭成套配套選型。


DIC 迪愛生日本
原裝進口
纖維脫氣模組
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