二、六大核心產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1. 滾珠脂潤(rùn)滑結(jié)構(gòu)，高、長(zhǎng)免維護(hù)周期

軸承采用長(zhǎng)效潤(rùn)滑脂密封，20000~30000 小時(shí)大修周期內(nèi)無(wú)需補(bǔ)脂，無(wú)持續(xù)供油管路；零部件更少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔，整機(jī)采購(gòu)與運(yùn)維成本遠(yuǎn)低于磁懸浮泵，批量設(shè)備選型經(jīng)濟(jì)性突出。

2. 全姿態(tài)自由安裝，抗沖擊適配移動(dòng) / 振動(dòng)設(shè)備

轉(zhuǎn)子強(qiáng)化抗大氣沖擊結(jié)構(gòu)，耐受腔體突發(fā)進(jìn)氣沖擊；支持水平、垂直、倒立任意角度安裝，機(jī)身輕量化，可搭載便攜式檢測(cè)設(shè)備、運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)、車(chē)載真空裝置，振動(dòng)工況穩(wěn)定運(yùn)行。

3. 復(fù)合渦輪流道，寬壓力區(qū)間、高氣體處理能力

渦輪 + 螺旋復(fù)合轉(zhuǎn)子，允許前級(jí)壓力* 1330Pa，相比單渦輪泵前級(jí)耐受壓力大幅提升；氮?dú)?處理流量 80~500sccm，適配常規(guī)惰性、工藝氣體連續(xù)抽氣，極限真空＜1×10?? Pa（CF 法蘭可達(dá) 3×10?? Pa）。

4. 快速啟停 + 節(jié)能低噪，設(shè)備節(jié)拍更優(yōu)

小型號(hào)啟動(dòng)僅 1~1.5min，大型號(hào) 5.5~9min；優(yōu)化電機(jī)與葉片流體設(shè)計(jì)，整機(jī)功耗低、運(yùn)行噪音可控，搭配低速待機(jī)模式降低空載能耗，提升設(shè)備整體運(yùn)行效率。

5. 標(biāo)準(zhǔn)化工業(yè)通訊，自動(dòng)化集成便捷

控制器標(biāo)配 RS232C 串行通訊接口，支持遠(yuǎn)程轉(zhuǎn)速監(jiān)控、故障報(bào)警、參數(shù)讀??；內(nèi)置轉(zhuǎn)速、溫度、軸承狀態(tài)多重保護(hù)傳感器，過(guò)載、過(guò)熱、前級(jí)壓力異常自動(dòng)停機(jī)防護(hù)，兼容產(chǎn)線上位控制系統(tǒng)對(duì)接。

6. 多法蘭、雙冷卻可選，通用性強(qiáng)

進(jìn)氣法蘭覆蓋 VG/ISO-B/CF 三類(lèi)行業(yè)通用標(biāo)準(zhǔn)；冷卻分風(fēng)冷（標(biāo)準(zhǔn)車(chē)間工況）、水冷（高氣體負(fù)載、密閉高溫機(jī)箱），適配各類(lèi)真空腔體改造、新舊設(shè)備替換升級(jí)。

三、全系主流型號(hào)基礎(chǔ)參數(shù)一覽

表格

統(tǒng)一通用參數(shù)：

• 氮?dú)鈮嚎s比* 1×10?，氫氣壓縮比 103~4×103

• 極限真空：VG/ISO＜1×10?? Pa，CF＜3×10?? Pa

• 合規(guī)：CE、NRTL、SEMI-S2 半導(dǎo)體安全標(biāo)準(zhǔn)

• 排氣法蘭統(tǒng)一 KF16/KF40/KF50（隨型號(hào)匹配）

四、適用場(chǎng)景（僅限無(wú)腐蝕常規(guī)氣體）

1. 小型半導(dǎo)體常規(guī)設(shè)備：無(wú)腐蝕薄膜沉積、晶圓外觀檢測(cè)、離子注入輔助真空腔體；

2. 科研分析儀器：SEM 掃描電鏡、電子槍、離子源、X 射線檢測(cè)、表面分析設(shè)備；

3. 光學(xué) / FPD 行業(yè)：小型光學(xué)鏡頭鍍膜、傳感器元件濺射、液晶基板清洗設(shè)備；

4. 工業(yè)精密真空裝備：電子元件真空封裝、小型真空熱處理、便攜式真空檢漏儀；

5. 科研實(shí)驗(yàn)室配套：加速器、輻射實(shí)驗(yàn)、空間模擬小型艙體、教學(xué)試驗(yàn)真空裝置。

注意：禁止用于蝕刻、灰化、含鹵素 / 硅粉塵腐蝕工藝，腐蝕工況請(qǐng)選用 TG-M、TGkineMI 耐腐蝕加熱系列